【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于材料加工、能源及环保领域，尤其是涉及一种大空间高密度放电等离子体装置及其应用。
技术介绍
1、等离子体通过电离、激发和解离激活气体分子，产生大量活性物种，从而产生高密度电子。根据气体气压的不同，等离子体分为低气压(<10torr)等离子体、中气压(10～100torr)等离子体以及高气压(＞100torr)等离子体；根据温度不同，等离子体分为热等离子体和非热等离子体。
2、常规低温放电等离子体是指在大约一个大气压下气体产生电子的温度(>104k)远高于离子温度(＝300～500k)的等离子体，因此其在低能耗下即可维持放电平衡。常规低温放电等离子体常用于材料表面处理及改性和降碳减碳等领域。例如，针对已被广泛应用于医疗、航天航空、电子等行业的聚四氟乙烯(ptfe)材料粘接性能不足的问题，专利申请cn116836443a公开了一种通过采用氩气或包含氩气的混合气体等离子体对ptfe表面进行改性处理，对ptfe结构改性从而解决ptfe粘接强度不够的问题。此外，专利申请cn117116747a公开了一种采用氩气...
【技术保护点】
1.一种大空间高密度放电等离子体装置，包括外壳(4)，以及位于外壳(4)内部的上电极(1)、下电极(2)和引发电极(3)；其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种大空间高密度放电等离子体装置，其特征在于，所述引发电极(3)的移动下限为下止点，移动上限为上止点；
3.根据权利要求1所述的一种大空间高密度放电等离子体装置，其特征在于，所述导电微米丝束(8)的镶嵌密度为4束/cm2-16束/cm2，每束导电微米丝束(8)包含5-50根导电微米丝，每根导电微米丝的直径为2μm-20μm，长度为5mm-30mm。
4.根据权利要求1所述的一...
【技术特征摘要】
1.一种大空间高密度放电等离子体装置，包括外壳(4)，以及位于外壳(4)内部的上电极(1)、下电极(2)和引发电极(3)；其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种大空间高密度放电等离子体装置，其特征在于，所述引发电极(3)的移动下限为下止点，移动上限为上止点；
3.根据权利要求1所述的一种大空间高密度放电等离子体装置，其特征在于，所述导电微米丝束(8)的镶嵌密度为4束/cm2-16束/cm2，每束导电微米丝束(8)包含5-50根导电微米丝，每根导电微米丝的直径为2μm-20μm，长度为5mm-30mm。
4.根据权利要求1所述的一种大空间高密度放电等离子体装置，其特征在于，所述导电基板(7)为金属板、石墨板、碳纤维板或碳纤维毡中的一种或几种；所述导电微米丝束(8)为合金纤维、碳化硅纤维中的一种或两种。
5.根据权利要求1所述的一种大空间高密度放电等离子体装置，其特征在于，所述引...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄文君，晏乃强，程灿，瞿赞，徐浩淼，王佳男，戚洪源，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
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