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检查装置和检查方法制造方法及图纸
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文档序号:43989815
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本发明提供一种检查装置和检查方法,能够以简单的结构来观察光致发光的光和拉曼散射光两者,能够使晶体评价高度化。本实施方式的检查装置具有:脉冲光生成单元,其生成波长比试样的带隙所对应的光的波长更长的脉冲光,该脉冲光使试样进行多光子激发;聚光单元...
该专利属于雷射科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过雷射科技股份有限公司授权不得商用。
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