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衬底处理系统具有扩展的衬底处理能力。在一些示例中，这可以通过提供内侧衬底搬运室(例如具有六个面或侧壁)和外侧衬底搬运室(例如具有五个面或侧壁)来实现。内侧衬底搬运室可以与额外的衬底处理室连接。内侧衬底搬运室可通过额外的外侧装载锁定模块连接至...
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