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本技术公开了一种密封门组件及半导体测试设备，其中，密封门组件包括门体和运动机构，运动机构包括第一驱动装置和第二驱动装置，第一驱动装置用于带动门体沿第一方向靠近或远离窗口，第二驱动装置用于带动门体沿第二方向密封或打开窗口，第一方向与第二方向相...
该专利属于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过矽电半导体设备（深圳）股份有限公司授权不得商用。

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