【技术实现步骤摘要】
本技术涉及密封门，特别涉及一种密封门组件及半导体测试设备。
技术介绍
1、在制造半导体芯片的过程中，部分芯片需要在特定的测试环境中进行测试，例如氮气环境、低露点环境等。目前，半导体测试设备的仓体具有测试腔体，芯在测试腔体内进行测试，为了保证机械手可以取放芯片，在测试腔体的侧部留有一个窗口，供机械手通过，为了保证测试环境的密闭性，需要考虑如何密封窗口
技术实现思路
1、本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提供一种密封门组件，能够实现自动密封或打开窗口，保证测试环境的密闭性。
2、本技术还提供一种半导体测试设备，具有上述的半导体测试设备。
3、根据本技术第一方面实施例的密封门组件，包括：门体；运动机构，包括第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置用于带动所述门体沿第一方向靠近或远离窗口，所述第二驱动装置用于带动所述门体沿第二方向密封或打开窗口，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。
4、根据本技术第一方面实施例的密封门组件，至...
【技术保护点】
1.密封门组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的密封门组件，其特征在于，所述密封门组件包括滑动组件，所述滑动组件包括滑轨、滑块和滑动板，所述滑轨沿所述第一方向延伸，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述滑动板与所述滑块固定连接，所述第一驱动装置与所述滑动板固定连接。
3.根据权利要求2所述的密封门组件，其特征在于，所述滑轨设有两条，两条滑轨分别位于所述滑动板的两端。
4.根据权利要求3所述的密封门组件，其特征在于，所述密封门组件包括导向组件，所述导向组件包括直线导杆和直线轴承，所述直线导杆与所述门体固定连接，所述直线导杆沿所述...
【技术特征摘要】
1.密封门组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的密封门组件，其特征在于，所述密封门组件包括滑动组件，所述滑动组件包括滑轨、滑块和滑动板，所述滑轨沿所述第一方向延伸，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述滑动板与所述滑块固定连接，所述第一驱动装置与所述滑动板固定连接。
3.根据权利要求2所述的密封门组件，其特征在于，所述滑轨设有两条，两条滑轨分别位于所述滑动板的两端。
4.根据权利要求3所述的密封门组件，其特征在于，所述密封门组件包括导向组件，所述导向组件包括直线导杆和直线轴承，所述直线导杆与所述门体固定连接，所述直线导杆沿所述第二方向延伸，所述直线轴承与所述滑动板固定连接，所述直线导杆与所述直线轴承配...
【专利技术属性】
技术研发人员：林生财，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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