下载晶圆级光学元件产品的夹具的技术资料

文档序号:43987628

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本发明公开了一种晶圆级光学元件产品的夹具,包括:用于对产品进行外圈悬浮支撑的支撑环(1)、用于小面积夹紧固定产品边缘的固定爪(3)、用于分散力量的卸力连接机构(2);一组所述固定爪(3)呈一圈分布在所述支撑环(1)的内部,并通过对应的一组所...
该专利属于伯恩光学(惠州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过伯恩光学(惠州)有限公司授权不得商用。

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