【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆级光学领域，尤其涉及一种晶圆级光学元件产品的夹具。
技术介绍
1、晶圆级光学(wafer level optics，wlo)是一种结合了半导体制造工艺与光学设计的先进技术，主要用于制造小型、高性能的光学元件。区别于传统的半导体产品，这一类光学元件的检测高度依赖于对透过光线的测量。此外，该类产品对于施加在晶圆上的应力也更加的敏感。降低夹持面积，减少遮光区域，以及降低施加在晶圆上的使晶圆变形的力尤为关键。
2、现有晶圆夹持装置，一般为两片带有定位槽的圆环形夹持片环构成，将晶圆放在两片夹持片的中间，通过螺栓/夹钳将两片夹持片和晶圆这三者固定到一起；或者是采用中心支撑边缘夹持的方案，如公开号为cn 102569154a的申请所示，包含了基板、定位柱等，通过两侧的带有定位柱的基板将晶圆夹持在中间。
3、传统的方案在晶圆范围内都有较大面积的遮挡，且存在光学元件和夹具之间的干涉，无法达到很好的检测效果；并且有一定的厚度会导致被测器件的出光角受限，影响在晶圆边缘或者被遮挡的器件的检测。限制了单片晶圆上器件的检测...
【技术保护点】
1.一种晶圆级光学元件产品的夹具，用于夹持所述产品进行光学测试，其特征在于，所述夹具包括：用于对所述产品进行外圈悬浮支撑的支撑环(1)、用于小面积夹紧固定所述产品边缘的固定爪(3)、用于分散力量的卸力连接机构(2)；
2.根据权利要求1所述的晶圆级光学元件产品的夹具，其特征在于，所述卸力连接机构(2)包括一端与所述支撑环(1)的内侧连接、另一端连接一个所述固定爪(3)的弧形卸力梁；所述支撑环(1)和与其连接的卸力梁所述固定爪(3)共面。
3.根据权利要求2所述的晶圆级光学元件产品的夹具，其特征在于，所述支撑环(1)的内侧开设多个缺口，多个所述缺...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆级光学元件产品的夹具，用于夹持所述产品进行光学测试，其特征在于，所述夹具包括：用于对所述产品进行外圈悬浮支撑的支撑环(1)、用于小面积夹紧固定所述产品边缘的固定爪(3)、用于分散力量的卸力连接机构(2)；
2.根据权利要求1所述的晶圆级光学元件产品的夹具，其特征在于，所述卸力连接机构(2)包括一端与所述支撑环(1)的内侧连接、另一端连接一个所述固定爪(3)的弧形卸力梁；所述支撑环(1)和与其连接的卸力梁所述固定爪(3)共面。
3.根据权利要求2所述的晶圆级光学元件产品的夹具，其特征在于，所述支撑环(1)的内侧开设多个缺口，多个所述缺口与多个所述卸力连接机构(2)对应；
4.根据权利要求2所述的晶圆级光学元件产品的夹具，其特征在于，所述卸力连接机构(2)由一对所述卸力梁组成，所述卸力梁自与所述支撑环(1)连接的位置起，沿着所述支撑环(1)的延伸方向延伸或者往逐渐偏离所述支撑环(1)的方向延伸，且一对所述卸力梁延伸至逐渐靠拢并且延伸末端共同连接同一个所述固定爪(3)。
5.根据权利要求4所述的晶圆级光学元件产品的夹具，其特征在于，所述固定爪(3)呈“人”字形结构，所述固定爪(3)的第一端和第二端分别与一对所述卸力梁的延伸末端连接固定，所述固定爪(3)的第三端用于所述产品边缘的固定。
6.根据权利要求5所述的晶圆级光学元件产品的夹具，其特征在于，所述固定爪(3)背离所述产品的一侧凸出有第一加强筋条，所述固定爪(3)的第一端和第二端分布在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：严英明，曾嘉睿，来云鹤，
申请(专利权)人：伯恩光学惠州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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