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一种小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法及系统技术方案
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下载一种小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法及系统的技术资料
文档序号:43987240
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本发明公开了一种小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法及系统,该方法为:提供厚度大于50μm的薄膜样品或小尺寸单晶材料样品,将多个样品分别以不同的晶面取向垂直固定于模具内;对样品进行抛光,使不同方向暴露的晶面均被抛光打磨从而使不同取向的晶面...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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