一种小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法及系统，该方法为：提供厚度大于50μm的薄膜样品或小尺寸单晶材料样品，将多个样品分别以不同的晶面取向垂直固定于模具内；对样品进行抛光，使不同方向暴露的晶面均被抛光打磨从而使不同取向的晶面均被暴露；通过测量样品的面内热导率和面外热导率计算材料的各向异性热导率。该系统包括用于固定样品的模具、对样品进行分级抛光的抛光机，以及测量样品的面内和面外热导率的热导率测量仪器。本发明专利技术的测量方法将多个样品分别以不同的晶面取向进行固定，抛光时截取某一界面，此时所有样品不同取向的晶面即可暴露出来，获得了不同方向暴露的晶面，因此进行各向异性热导率测量时更加准确。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种材料的各向异性热导率测量方法及系统，尤其涉及一种小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法及系统。

技术介绍

1、在现代材料科学中，各向异性热导率的测量对于理解和优化材料性能至关重要。许多小尺寸单晶材料，尤其是层状氧化物，展现出显著的各向异性特征，即其热导率在不同方向上存在差异。这种各向异性不仅影响材料的热管理性能，也对其在电子器件、热电材料和其他高性能应用中的表现产生重要影响。

2、在微电子和纳米技术的迅速发展背景下，传统热导率测量方法在面对小尺寸单晶样品时常常无法有效解决热接触不良、稳定性不足和测量误差等问题。此外，小尺寸样品的特性导致其热导率的各向异性特征更加明显，直接影响到材料的散热能力和工作效率。因此，准确测量小尺寸单晶材料的各向异性热导率，不仅是基础研究的重要环节，也是推动新材料开发和应用的必要条件。

3、在热导率的测量技术方面，常用的方法包括微桥法、热线法、激光脉冲法和时域热反射谱(tdtr)法。然而，这些方法在某些情况下可能面临测量精度不足或样品处理复杂等问题。

4、因此，开发一种高效、精确本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法，其特征在于，步骤(3)中，利用抛光机进行至少两次不同粒度的抛光，以获得平滑的样品表面，样品粘贴时呈不规则取向，抛光后即可获得不同方向暴露的晶面，以进行各向异性热导率测量。

3.根据权利要求2所述的小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法，其特征在于，粗粒度在几十微米到几百微米之间，细粒度通常在几微米到几十微米之间。

4.根据权利要求1所述的小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法，其特征在于，步骤(2)中，首先将多个样...

【技术特征摘要】

1.一种小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法，其特征在于，步骤(3)中，利用抛光机进行至少两次不同粒度的抛光，以获得平滑的样品表面，样品粘贴时呈不规则取向，抛光后即可获得不同方向暴露的晶面，以进行各向异性热导率测量。

3.根据权利要求2所述的小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法，其特征在于，粗粒度在几十微米到几百微米之间，细粒度通常在几微米到几十微米之间。

4.根据权利要求1所述的小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法，其特征在于，步骤(2)中，首先将多个样品分别以不同的晶面取向垂直粘贴于模具底面，然后将固化剂浇筑于模具内，使样品被固化剂固定在模具内。

5.根据权利要求4所述的小尺寸单晶样品的各向异性热导率测量方法，其特征在于，样品被固化剂固定后，将样品与固化剂...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢明辉，郑佳慧，狄琛，颜学俊，姚淑华，吕洋洋，陈延峰，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：