下载具有微机械结构的转速传感器和用于运行转速传感器的方法的技术资料

文档序号:43985513

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提出一种转速传感器,所述转速传感器具有微机械结构并且具有质量振动器,其中,所述质量振动器能够借助驱动装置被驱动进行驱动振动,其中,所述转速传感器配置为用于保护所述微机械结构并且在探测到的自由落体状况的时间间隔期间配置成,使得实现所述驱动振动...
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