具有微机械结构的转速传感器和用于运行转速传感器的方法技术

提出一种转速传感器，所述转速传感器具有微机械结构并且具有质量振动器，其中，所述质量振动器能够借助驱动装置被驱动进行驱动振动，其中，所述转速传感器配置为用于保护所述微机械结构并且在探测到的自由落体状况的时间间隔期间配置成，使得实现所述驱动振动的振幅的减小，其中，借助供应给所述转速传感器的自由落体信号通过信号表示所述自由落体状况，其中，所述转速传感器还配置成，使得——紧接在接收到通过信号表示自由落体状况的终点的另外的自由落体信号之后——所述驱动装置再次驱动所述质量振动器进行所述质量振动器的运行式驱动振动，其中，所述驱动振动的振幅的减小比相应于所述质量振动器的驱动振动的单纯的衰减过程的减小更快速地实现。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种转速传感器，该转速传感器具有微机械结构并且具有质量振动器。

技术介绍

1、由现有技术已经在多种多样的实施方式中公开微机械转速传感器(在下文中也被称为imu——intertial measurement unit，惯性测量单元)。在此，常见的作用原理是，通过与转速有关的科里奥利力的作用来探测转速。为此，通过电驱动运动将一个或者多个质量振动器置于周期性运动中，使得通过转动实现不仅垂直于运动方向、还垂直于转动矢量起作用的力。在此，该周期性运动由驱动结构维持；质量振动器通过弹簧元件与微机械传感器的衬底耦合。

2、这样的具有持续的驱动激励的转速传感器易于在重复的下落测试的情况下有时在mems核心中产生颗粒。这些颗粒产生电短路，该电短路导致在陀螺仪的一个或者多个轴中的通常完全较大的静态的/动态的偏移移位，有时伴随着增大的噪声。

3、因此，如果(a)通过转速传感器驱动该质量振动器从其静止位置中偏离或实施振动运动，并且(b)如果imu(要么独立地、要么作为电子器具的一部分)面临由于大于约10cm的自由落体(在重力作用下)导致的与表本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.转速传感器(1)，所述转速传感器具有微机械结构(2)并且具有质量振动器，其中，所述质量振动器能够借助驱动装置被驱动进行驱动振动，其中，所述转速传感器(1)配置为用于保护所述微机械结构(2)并且在探测到的自由落体状况的时间间隔(100)期间配置成，使得实现所述驱动振动的振幅(101)的减小，其中，借助供应给所述转速传感器(1)的自由落体信号通过信号表示所述自由落体状况，其中，所述转速传感器(1)还配置成，使得——紧接在接收到通过信号表示自由落体状况的终点的另外的自由落体信号之后——所述驱动装置再次驱动所述质量振动器进行所述质量振动器的运行式驱动振动，

2.根据权利要求1所述...

【技术特征摘要】

1.转速传感器(1)，所述转速传感器具有微机械结构(2)并且具有质量振动器，其中，所述质量振动器能够借助驱动装置被驱动进行驱动振动，其中，所述转速传感器(1)配置为用于保护所述微机械结构(2)并且在探测到的自由落体状况的时间间隔(100)期间配置成，使得实现所述驱动振动的振幅(101)的减小，其中，借助供应给所述转速传感器(1)的自由落体信号通过信号表示所述自由落体状况，其中，所述转速传感器(1)还配置成，使得——紧接在接收到通过信号表示自由落体状况的终点的另外的自由落体信号之后——所述驱动装置再次驱动所述质量振动器进行所述质量振动器的运行式驱动振动，

2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)配置成，

3.根据上述权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)配置成，

4.根据上述权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)配置成，使得在探测到的自由落体状况的时间间隔(100)的第二部分(120)中，关断所述驱动装置和/或所述驱动控制信号(32)，其中，探测到的自由落体状况的所述时间间隔(100)的所述第二部分(120)尤其在所述第一部分(110)结束之后开始，尤其是紧接在所述第一部分(110)之后直接开始或者——在时...

【专利技术属性】
技术研发人员：K·K·兰格哈拉贾恩，M·迪特里希，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：