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本发明的真空测量系统能够利用一个传感器来使测量精度稳定化而测定更宽的压力范围。测定电路(104)基于隔膜(102)的位移来求出隔膜(102)所受到的压力值。修正电路(105)在测定电路(104)所求出的压力值比所设定的基准值大的范围内，以与...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。

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