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本发明涉及一种工件台及曝光装置，工件台包括扫描滑块，步进滑块，载台，第一驱动电机和力抵消机构；扫描滑块设于地基上，扫描滑块能相对地基沿扫描方向移动；步进滑块设于扫描滑块上，步进滑块能相对扫描滑块沿步进方向移动；载台连接于步进滑块，载台用于承...
该专利属于季华实验室所有，仅供学习研究参考，未经过季华实验室授权不得商用。

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