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本发明涉及芯片测试领域，具体涉及一种三轴独立固定华夫盒结构装置；包括圆形底座、XY轴固定结构和Z轴真空吸附结构；所述圆形底座上表面设有圆形凹槽；所述圆形凹槽的上部开有贯通的吸头孔，所述圆形凹槽的中下部设有底槽；所述XY轴固定结构位于底槽内；...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十四研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十四研究所授权不得商用。

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