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本发明提供了一种晶圆Mark区域的检测方法及系统，属于半导体领域。该晶圆Mark区域的检测方法包括提供一晶圆GDS形式文件，以确认被检测的Mark区域，Mark区域具有待检测的图案。将Mark区域截图，并抽取图案的轮廓线。获取轮廓线与GDS...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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