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本技术公开了一种薄膜沉积炉管及化学气相沉积设备，薄膜沉积炉管包括：炉体，炉体的内壁具有若干个离散的第一凹陷结构；保护涂层，设置在炉体的内壁上，在远离炉体的内壁的方向上，保护涂层形成有与若干个第一凹陷结构相对应的若干个第二凹陷结构。本技术实施...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

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