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一种溅射环开口区域的滚花加工方法技术
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文档序号:43974226
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本发明公开了一种溅射环开口区域的滚花加工方法;包括:步骤1、制造工装组件;步骤2、将溅射环件与工装组件装配;步骤3、通过设计好的滚花路径,分别完成溅射环开口两侧区域的滚花加工;其中,步骤3中对溅射环开口一侧区域的滚花加工包括:多轴机器人控制...
该专利属于有研亿金新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过有研亿金新材料有限公司授权不得商用。
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