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本发明涉及一种监测快速热退火设备稳定性的方法，属于快速热退火设备监测技术领域。本发明的监测快速热退火设备稳定性的方法，包括以下步骤：S1.通过在不同参数条件下的模拟计算，得出温度的规律；S2.分别根据模拟计算的参数进行实际生产实验；S3.生...
该专利属于长春长光正圆微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春长光正圆微电子技术有限公司授权不得商用。

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