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本发明公开了一种芯片键合机构和键合设备,属于半导体技术领域。芯片键合机构安装到键合设备的空间移动单元上,芯片键合机构包括安装支架、转接板、键合头和姿态调节模块。键合头的键合吸嘴采用弧形设计,优化接触面积,避免整个平面贴合导致的空气残留。键合...该专利属于盛吉盛智能装备(江苏)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛吉盛智能装备(江苏)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种芯片键合机构和键合设备,属于半导体技术领域。芯片键合机构安装到键合设备的空间移动单元上,芯片键合机构包括安装支架、转接板、键合头和姿态调节模块。键合头的键合吸嘴采用弧形设计,优化接触面积,避免整个平面贴合导致的空气残留。键合...