温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于还原回收氯硅烷分离提纯的隔板耦合工艺，包括两台隔板精馏塔、换热器及附属设备。本发明通过两台串联并耦合的隔板精馏塔不仅实现还原回收氯硅烷组分的高效分离，还对产品进行提纯，满足大型还原炉及电子级多晶硅的生产要求，与现有工艺相...
该专利属于中国科学院过程工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院过程工程研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。