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本发明涉及微机电系统技术领域，特别是涉及一种基于压电薄膜的周边固支型微型致动器及其应用，包括：外框，用于支撑和保护微型致动器；驱动组件，包括压电薄膜和设置于压电薄膜上下的电极层；质量块，连接于驱动组件；以及周边固支组件，用于固定支撑驱动组件...
该专利属于东莞市惟动智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市惟动智能科技有限公司授权不得商用。

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