一种基于压电薄膜的周边固支型微型致动器及其应用制造技术

本发明专利技术涉及微机电系统技术领域，特别是涉及一种基于压电薄膜的周边固支型微型致动器及其应用，包括：外框，用于支撑和保护微型致动器；驱动组件，包括压电薄膜和设置于压电薄膜上下的电极层；质量块，连接于驱动组件；以及周边固支组件，用于固定支撑驱动组件和质量块形成的振动系统；其中，驱动组件通过周边固支组件与外框连接，从而实现周边固支结构；发明专利技术的微型致动器可做到0.1mm到10mm的尺寸范围，满足了极度微型化设备的需求；采用单面膜或双面膜结构，结合简单的悬臂梁或悬臂桥设计，大大简化了制造过程，降低了成本；周边固支结构确保了致动器的稳定性和精确度，优化了振动特性，增强了致动器的耐久性和环境适应能力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电系统(mems)，特别是涉及一种基于压电薄膜的周边固支型微型致动器及其应用。

技术介绍

1、随着微电子技术和物联网的快速发展，微型化、智能化设备在各个领域的应用日益广泛。这些设备对微型致动器的需求也随之增加，特别是在ar/vr设备、智能可穿戴设备、微流控系统和精密仪器等领域。传统的电磁致动器由于其尺寸和功耗的限制，难以满足这些新兴应用的需求。因此，开发新型微型致动器成为了当前的研究热点。

2、压电致动器因其响应快、能耗低、精度高等优点，成为微型致动器的理想选择。然而，现有的压电致动器仍然存在一些问题：

3、1.尺寸过大：许多现有的压电致动器虽然比电磁致动器小，但仍难以满足某些极度微型化设备的需求，如智能隐形眼镜或微型医疗机器人。

4、2.结构复杂：一些微型压电致动器为了提高性能，采用了复杂的多层结构或特殊的压电材料，这不仅增加了制造难度和成本，还可能降低了设备的可靠性。

5、3.固定支撑不足：在微型化过程中，致动器的固定支撑往往成为一个关键问题。不恰当的支撑方式可能导致振动损失、定位精度下本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于压电薄膜的周边固支型微型致动器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微型致动器，其特征在于，所述驱动组件进一步包括：

3.根据权利要求1所述的微型致动器，其特征在于，所述驱动组件为单面膜结构或双面膜结构；

4.根据权利要求1所述的微型致动器，其特征在于，所述外框为长方体结构或圆形结构；

5.根据权利要求1所述的微型致动器，其特征在于，所述周边固支组件由以下材料中的一种或多种制成：硅、二氧化硅、氮化硅、铝、钛、聚酰亚胺、不锈钢、聚二甲基硅氧烷、二氧化钛、碳化硅、石英或陶瓷材料。

6.根据权利要求1所述的微型致动...

【技术特征摘要】

1.一种基于压电薄膜的周边固支型微型致动器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微型致动器，其特征在于，所述驱动组件进一步包括：

3.根据权利要求1所述的微型致动器，其特征在于，所述驱动组件为单面膜结构或双面膜结构；

4.根据权利要求1所述的微型致动器，其特征在于，所述外框为长方体结构或圆形结构；

5.根据权利要求1所述的微型致动器，其特征在于，所述周边固支组件由以下材料中的一种或多种制成：硅、二氧化硅、氮化硅、铝、钛、聚酰亚胺、不锈钢、聚二甲基硅氧烷、二氧化钛、碳化硅、石英...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹声涛，胡中骥，钟鑫，
申请(专利权)人：东莞市惟动智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：