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本技术公开了一种用于石墨舟干法刻蚀的真空腔体结构，包括不锈钢圆筒型的真空腔体，所述真空腔体的内部安装有不锈钢材质的支撑杆；本技术通过将真空腔体设置为圆筒型，将石墨舟放入真空腔体内的支撑杆固定位置上，石墨舟分别对接真空腔体内的电极管接头，关上...
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