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本发明提供一种横向激励薄膜体声波谐振器及其制备方法，属于声波谐振器技术领域。该横向激励薄膜体声波谐振器包括衬底、位于衬底之上的压电层和位于压电层之上的叉指换能器；衬底与压电层之间形成有空腔；叉指换能器包括叉指电极；压电层上设置有至少一个凹槽...
该专利属于湖北九峰山实验室所有，仅供学习研究参考，未经过湖北九峰山实验室授权不得商用。

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