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一种针对InAs纳米线混合晶相界面位置的检测装置及方法制造方法及图纸
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下载一种针对InAs纳米线混合晶相界面位置的检测装置及方法的技术资料
文档序号:43965399
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本发明公开了一种针对InAs纳米线混合晶相界面位置的检测装置及方法,该方法通过位置敏感探测器与金属‑绝缘体‑半导体(MIS)结构中的隧穿效应来实现。其中位置敏感探测器是由正负电极与InAs纳米线的组合,通过欧姆定律,将InAs纳米线的晶相变...
该专利属于南通大学所有,仅供学习研究参考,未经过南通大学授权不得商用。
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