下载一种氧化镓晶体的生长控制方法及生长装置的技术资料

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本发明提供了一种氧化镓晶体的生长控制方法及生长装置,分别获取引晶控制参数、缩径控制参数、放肩控制参数和等径控制参数,基于引晶控制参数控制生长炉内的氧化镓原料执行引晶操作,得到初步生长的氧化镓晶体;基于所述缩径控制参数对所述引晶操作完成后的氧...
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