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本公开的目的是提供使得即使在被测量流体中包含水滴的高湿度环境中也能够以良好的稳定性测量气体的流量或气体的成分的浓度的物理量测量装置。物理量测量装置(22)包括流路主体(11)、流量测量单元、上游开口(17)、下游开口(18)和副流路(13)...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。

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