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本发明公开了一种量测结果的图形化输出方法及系统，包括：基于预设的第一量测参数获取所述扫描图像的第一量测结果；根据所述扫描图像的灰度值分布截面图及所述第一量测参数提取所述扫描图像对应的第一灰度极值点和第二灰度极值点，以计算所述扫描图像对应的第...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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