温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种多物理量并行测量的谐振式传感器和测量方法。谐振式传感器包括衬底层和器件层；器件层包括内部质量块、主振动环、嵌套多层环和外部锚定环，内部质量块固定在衬底层中心，与主振动环之间的距离为3～5微米。测量方法为：向传感器施加激励信号；...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。