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本发明涉及半导体技术领域，公开了CMP中使用的纳米氧化铈的制备方法及其应用，包括以下步骤：步骤一、取硝酸铈将其溶解在水溶液或者乙醇溶液中进行混合搅拌，得到前驱体溶液，在混合时也可以加入硝酸镧和硝酸钕，得出混合的前驱体溶液；步骤二、向前驱体溶...
该专利属于龙岩英伟凌电子器件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过龙岩英伟凌电子器件有限公司授权不得商用。

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