温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种多手工艺机械臂的晶圆传送方法，通过晶圆传送系统将晶圆在所述中转单元、旋转单元、热板单元之间传递，具体包括以下步骤：S1、取出晶圆：工艺机械臂从中转单元内取出至多N‑1片待处理晶圆；S2、交换旋转单元上的...
该专利属于合肥开悦半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥开悦半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。