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本发明涉及半导体运输工装技术领域，具体涉及一种蓝膜子母环的自动上下料装置及其上下料方法，自动上下料装置包括升降机构、回转机构、转板、一对上夹持器和一对下夹持器；回转机构安装于升降机构上；转板与回转机构连接，回转机构能够驱动转板在水平面内转动...
该专利属于湖南奥创普科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南奥创普科技有限公司授权不得商用。

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