一种蓝膜子母环的自动上下料装置及其上下料方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体运输工装技术领域，具体涉及一种蓝膜子母环的自动上下料装置及其上下料方法，自动上下料装置包括升降机构、回转机构、转板、一对上夹持器和一对下夹持器；回转机构安装于升降机构上；转板与回转机构连接，回转机构能够驱动转板在水平面内转动；转板的自由端开设有通孔；一对上夹持器和一对下夹持器均围绕通孔设置于转板上；上夹持器上设置有沿通孔中心轴线伸缩的L形上卡块；下夹持器上设置有沿通孔中心轴线伸缩的L形下卡块；在水平面内的投影，L形上卡块和L形下卡块均能够伸入或退出通孔；L形上卡块的竖直高度高于L形下卡块的竖直高度。通过一个机器人便能够实现蓝膜子母环的自动上下料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体运输工装，具体涉及一种蓝膜子母环的自动上下料装置及其上下料方法。

技术介绍

1、蓝膜子母环是一种用于扩张芯片的工具，通常与固晶机一起使用。蓝膜子母环通常存放于晶元盘内，晶元盘相当于料盘，一个料盘内存放有多个蓝膜子母环。

2、蓝膜子母环的自动上下料装置能够自动实现晶元盘的上下料，后工序设备则在晶元盘内取料进行装配。现有的自动上下料装置一般设置有两个机器人，分别用于晶元盘的上料以及空置晶元盘的下料。但两个机器人的设置增加了设备的占用空间，使得自动上下料装置对小型安装场地的适应性较差，难以集成至小型固晶机上。两个机器人的设置也增加了设备成本。

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、鉴于现有技术的上述缺点和不足，本专利技术提供一种蓝膜子母环的自动上下料装置及其上下料方法，其解决了现有的自动上下料装置设置两个机器人的方式对小型安装场地的适应性较差的技术问题。

3、(二)技术方案

4、为了达到上述目的，本专利技术的蓝膜子母环的自动上下料装置包括升本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蓝膜子母环的自动上下料装置，其特征在于，所述自动上下料装置包括升降机构(1)、回转机构(2)、转板(3)、一对上夹持器(4)和一对下夹持器(5)；

2.根据权利要求1所述的蓝膜子母环的自动上下料装置，其特征在于，所述L形上卡块(41)和所述L形下卡块(51)均包括竖直板和水平板；

3.根据权利要求2所述的蓝膜子母环的自动上下料装置，其特征在于，所述第一夹持面(411)和/或所述第二夹持面(413)上设置有防滑件。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的蓝膜子母环的自动上下料装置，其特征在于，所述回转机构(2)包括回转驱动器(21)、转接板(22...

【技术特征摘要】

1.一种蓝膜子母环的自动上下料装置，其特征在于，所述自动上下料装置包括升降机构(1)、回转机构(2)、转板(3)、一对上夹持器(4)和一对下夹持器(5)；

2.根据权利要求1所述的蓝膜子母环的自动上下料装置，其特征在于，所述l形上卡块(41)和所述l形下卡块(51)均包括竖直板和水平板；

3.根据权利要求2所述的蓝膜子母环的自动上下料装置，其特征在于，所述第一夹持面(411)和/或所述第二夹持面(413)上设置有防滑件。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的蓝膜子母环的自动上下料装置，其特征在于，所述回转机构(2)包括回转驱动器(21)、转接板(22)、第一限位块(23)和第二限位块(24)；

5.根据权利要求4所述的蓝膜子母环的自动上下料装置，其特征在于，所述转接板(22)上还设置有监测所述转板(3)复位的原点光电(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：王珲荣，肖鹏，曾宇，
申请(专利权)人：湖南奥创普科技有限公司，
类型：发明
国别省市：