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本发明公开一种EDS能谱仪多元对焦装置，装置包含法兰安装座、探测器安装座和两个以上的法兰盘，两个以上的法兰盘安装在法兰安装座和探测器安装座之间，每个法兰盘至少有一个安装面呈倾斜状，设置在两端的法兰盘为端头法兰盘，设置在中间的法兰盘为中间法兰...
该专利属于钢研纳克检测技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过钢研纳克检测技术股份有限公司授权不得商用。

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