【技术实现步骤摘要】
本专利技术公开一种能谱仪，特别是一种eds能谱仪多元对焦装置，属于分析设备。
技术介绍
1、能谱仪是一种用于测量物质中粒子或辐射能量分布的仪器，广泛应用于物理、化学、生物等多个领域。它能够分析样品中各种元素的能量特征，帮助科学家进行定性和定量分析。
2、能谱仪的基本工作原理是将入射辐射或粒子与物质相互作用后，产生的信号转换为可测量的能量数据。样品被辐射或粒子照射，样品中的原子或分子与入射粒子相互作用，释放出能量，这些释放的能量被探测器捕捉并转换成电信号，信号经过处理后，生成能谱图，显示不同能量的粒子数量或强度。
3、在材料科学可用于分析材料的成分和结构，在环境科学可用于监测和分析污染物，在医疗领域可用于放射性药物的分析和诊断，在核科学中可用于放射性核素的鉴定和测量。
4、能谱仪是一种强大的分析工具，通过合理使用，能够为科学研究和实际应用提供重要的数据支持。
5、能谱仪需要安装在扫描电镜的安装端口上使用，不同型号扫描电镜的端口位置、安装面角度等均有所不同，eds能谱仪安装时，需要根据扫描电镜...
【技术保护点】
1.一种EDS能谱仪多元对焦装置，其特征是：所述的装置包含法兰安装座（5）、探测器安装座（9）和两个以上的法兰盘，两个以上的法兰盘安装在法兰安装座（5）和探测器安装座（9）之间，每个法兰盘至少有一个安装面呈倾斜状，设置在两端的法兰盘为端头法兰盘，设置在中间的法兰盘为中间法兰盘。
2.根据权利要求1所述的EDS能谱仪多元对焦装置，其特征是：所述的法兰安装座（5）呈圆环形，两个安装面平行设置，法兰安装座（5）上开设有用于将法兰安装座（5）与扫描电镜SEM安装壁（1）安装在一起的第一安装孔（51），法兰安装座（5）中间为用于穿插探测器（3）的第一通孔（52），法...
【技术特征摘要】
1.一种eds能谱仪多元对焦装置，其特征是：所述的装置包含法兰安装座（5）、探测器安装座（9）和两个以上的法兰盘，两个以上的法兰盘安装在法兰安装座（5）和探测器安装座（9）之间，每个法兰盘至少有一个安装面呈倾斜状，设置在两端的法兰盘为端头法兰盘，设置在中间的法兰盘为中间法兰盘。
2.根据权利要求1所述的eds能谱仪多元对焦装置，其特征是：所述的法兰安装座（5）呈圆环形，两个安装面平行设置，法兰安装座（5）上开设有用于将法兰安装座（5）与扫描电镜sem安装壁（1）安装在一起的第一安装孔（51），法兰安装座（5）中间为用于穿插探测器（3）的第一通孔（52），法兰安装座（5）上开设有用于安装端头法兰盘的第二安装孔（53）。
3.根据权利要求1所述的eds能谱仪多元对焦装置，其特征是：所述的探测器安装座（9）呈圆环形，两个安装面平行设置，探测器安装座（9）上开设有用于安装端头法兰盘的第六安装孔（91），探测器安装座（9）中间为用于穿插探测器（3）的第五通孔（92）。
4.根据权利要求1所述的eds能谱仪多元对焦装置，其特征是：所述的端头法兰盘呈圆环形，其中一个安装面与端头法兰盘的轴线之间的夹角为90°角，另一个安装面与端头法兰盘的轴线之间的夹角为非90°角，端头法兰盘上开设有腰形孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘明博，范真，贾云海，卢毓华，廖学亮，李程，倪子月，杨博赞，王向征，沈学静，胡学强，程大伟，岳元博，王世芳，
申请(专利权)人：钢研纳克检测技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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