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本技术公开了一种用于真空镀膜机工件传送的机械手结构，包括末端基座，其上线性阵列设置有吸附组件，所述吸附组件包括吸头、安装座和形变块，所述吸头与安装座固定连接，安装座位于末端基座的安装部内开设的活动腔内做活塞运动以使吸头竖向活动。该技术提供的...
该专利属于富时精工（南京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富时精工（南京）有限公司授权不得商用。

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