下载晶体生长炉的技术资料

文档序号:43949779

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本申请公开了一种晶体生长炉,其包括主炉室、副炉室和提拉组件,副炉石与主炉室连接,并设于主炉室的上方,提拉组件设于副炉室的上方,用于提拉晶棒;提拉组件包括提拉轴、提拉支架和抬升机构,提拉轴通过抬升机构与提拉支架连接,抬升机构与提拉支架滑动连接...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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