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本技术涉及硅片生产技术领域,特别是涉及一种硅片规整机构,包括底板,所述底板顶部一侧设有移动机构,所述底板顶部另一侧设有同步机构,所述移动机构包括固定安装于底板顶部一侧的直线导轨,所述直线导轨顶部两端均滑动有滑块安装座,两个所述滑块安装座相互...该专利属于东莞怡合达自动化股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞怡合达自动化股份有限公司授权不得商用。
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本技术涉及硅片生产技术领域,特别是涉及一种硅片规整机构,包括底板,所述底板顶部一侧设有移动机构,所述底板顶部另一侧设有同步机构,所述移动机构包括固定安装于底板顶部一侧的直线导轨,所述直线导轨顶部两端均滑动有滑块安装座,两个所述滑块安装座相互...