一种硅片规整机构制造技术

技术编号:43946383 阅读:9 留言:0更新日期:2025-01-07 21:35
本技术涉及硅片生产技术领域,特别是涉及一种硅片规整机构,包括底板,所述底板顶部一侧设有移动机构,所述底板顶部另一侧设有同步机构,所述移动机构包括固定安装于底板顶部一侧的直线导轨,所述直线导轨顶部两端均滑动有滑块安装座,两个所述滑块安装座相互远离的一侧表面固定连接有侧立板,所述侧立板顶部固定连接有横梁,所述同步机构包括处于移动机构一侧的同步带;该机构采用伺服电机机驱动,橡胶环型同步带传动,横梁同步向中间靠拢,而两条横梁各安装了个包胶轴承,主要用于硅片,规整动作,实现自动化生产,硅片从输送模块输送过来,在进入关键的工序前,给硅片进行规整,提高输送来料精度,减少卡料风险。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片生产,特别是涉及一种硅片规整机构


技术介绍

1、硅片是生产光伏产品的主要材料,同时硅片还是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件,被广泛应用于航空航天、工业、农业和国防等领域;硅片从输送模块输送过来,在进入关键的工序前(丝网印刷,硅片缓存,硅片烘烤,硅片花篮顶升位等),需要给硅片进行规整,一般的硅片规整机构固定在输送带的两侧,因此其仅能实现对特定尺寸的硅片的规整,而无法满足对其他尺寸的硅片的规整,其通用性不佳。为此我们提出一种硅片规整机构。


技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足,本技术提供一种硅片规整机构,硅片从输送模块输送过来,在进入关键的工序前(丝网印刷,硅片缓存,硅片烘烤,硅片花篮顶升位等),给硅片进行规整,提高输送来料精度,减少卡料风险。

2、为解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:一种硅片规整机构,包括底板,所述底板顶部一侧设有移动机构,所述底板顶部另一侧设有同步机构,所述移动机构包括固定安装于底板顶部一侧的直线导轨,所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片规整机构,包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)顶部一侧设有移动机构,所述底板(1)顶部另一侧设有同步机构,所述移动机构包括固定安装于底板(1)顶部一侧的直线导轨(2),所述直线导轨(2)顶部两端均滑动有滑块安装座(3),两个所述滑块安装座(3)相互远离的一侧表面固定连接有侧立板(4),所述侧立板(4)顶部固定连接有横梁(5),所述同步机构包括处于移动机构一侧的同步带(11),所述同步带(11)内侧两端分别安装有同步轮(9)与同步轮惰轮(10),所述同步轮(9)一侧设有电机安装座(8),所述电机安装座(8)一侧固定安装有伺服电机(7),所述伺服电机(7)的输出轴固定连接于...

【技术特征摘要】

1.一种硅片规整机构,包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)顶部一侧设有移动机构,所述底板(1)顶部另一侧设有同步机构,所述移动机构包括固定安装于底板(1)顶部一侧的直线导轨(2),所述直线导轨(2)顶部两端均滑动有滑块安装座(3),两个所述滑块安装座(3)相互远离的一侧表面固定连接有侧立板(4),所述侧立板(4)顶部固定连接有横梁(5),所述同步机构包括处于移动机构一侧的同步带(11),所述同步带(11)内侧两端分别安装有同步轮(9)与同步轮惰轮(10),所述同步轮(9)一侧设有电机安装座(8),所述电机安装座(8)一侧固定安装有伺服电机(7),所述伺服电机(7)的输出轴固定连接于同步轮(9)一侧,所述同步带(11)顶部一侧表面与底部另一侧表面分别固定安装有夹持块,两个所述夹持块分别与两个所述滑块安装座(3)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片规整机构,其特征在于,两个所述横梁(5)顶部均等距安装有包胶轴承(6),所述横梁(5)顶部包胶轴承(6)的数量设有三个,三个所述包胶轴承(6)处于同一轴线上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片规整机构,其特征在于,所述电机安装座(8)固定安装于底板(1)顶部,所述同步轮惰轮(10)内...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵科良李聪聪王晖唐铁光金立国
申请(专利权)人:东莞怡合达自动化股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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