下载一种单晶炉及冷却方法的技术资料

文档序号:43946228

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本发明涉及单晶炉冷却技术领域,公开了一种单晶炉的冷却方法,本冷却方法涉及一种单晶炉,在保温盖和炉体之间的第一间隙,坩埚和保温筒的第二间隙,将导流筒提升到第一高度,将保温盖提升到第二高度,以使导流筒和保温盖之间存在第三间隙,保温盖和保温筒之间...
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