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本发明涉及蠕动泵技术领域，尤其涉及一种压管间隙测量装置、蠕动泵及压管间隙测量方法，该压管间隙测量装置中设有固定组件及测量组件，固定组件用于安装在泵头的间隙调节窗上，测量组件和固定组件弹性连接，且测量组件和固定组件之间可相对滑动，测量组件的一...
该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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