【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蠕动泵，尤其涉及一种压管间隙测量装置、蠕动泵及压管间隙测量方法。
技术介绍
1、在切割硅片时，通常使用砂浆切割、金刚线切割及激光切片，其中，砂浆切割是将砂浆作为切割介质，通过砂浆切片机进行切割操作，在这个过程中，需要使用蠕动泵进行砂浆的运输与回收操作。
2、蠕动泵是一种容积泵，包括驱动电机、泵头及软管；请参照图7，其工作原理是：通过泵头上的压紧轮沿着软管旋转挤压，在压紧轮经过软管后，软管在自身弹性的作用下恢复原状，在软管内产生高真空，从而将物料吸入管腔中，随后在压紧轮的挤压下，沿着压紧轮的旋转方向将物料从软管内排出，如此，随着压紧轮的循环转动，物料不断地被吸入和排出，实现物料运输的目的。
3、目前，泵头的压管间隙一般是固定的，所谓压管间隙指的是泵头的滚轮外圆包络面与压紧轮工作面之间形成的间隙，压管间隙的最佳值是泵头能够可靠地吸取被运输物料的间隙；当实际压管间隙过大时会使蠕动泵无法正常工作；当实际间隙小于最佳间隙时，蠕动泵处于过压状态，虽然不影响蠕动泵的工作，但会导致软管的磨损加剧，实际间隙越小，软管...
【技术保护点】
1.一种压管间隙测量装置，其特征在于，包括固定组件及测量组件，所述固定组件用于安装在泵头的间隙调节窗上，所述测量组件和所述固定组件弹性连接，且测量组件和固定组件之间可相对滑动，测量组件的一端伸入所述间隙调节窗，并朝向压紧轮一侧，以使压紧轮工作面能够向测量组件伸入间隙调节窗内的一端施力，使测量组件相对所述固定组件产生位移，所述测量组件上设有刻度，用于显示测量组件和固定组件产生的相对位移量。
2.如权利要求1所述的压管间隙测量装置，其特征在于，所述固定组件包括固定板，所述固定板的中心开有安装孔，两侧对称的开有两个尺寸相同的固定孔；所述安装孔用于安装所述测量组件...
【技术特征摘要】
1.一种压管间隙测量装置，其特征在于，包括固定组件及测量组件，所述固定组件用于安装在泵头的间隙调节窗上，所述测量组件和所述固定组件弹性连接，且测量组件和固定组件之间可相对滑动，测量组件的一端伸入所述间隙调节窗，并朝向压紧轮一侧，以使压紧轮工作面能够向测量组件伸入间隙调节窗内的一端施力，使测量组件相对所述固定组件产生位移，所述测量组件上设有刻度，用于显示测量组件和固定组件产生的相对位移量。
2.如权利要求1所述的压管间隙测量装置，其特征在于，所述固定组件包括固定板，所述固定板的中心开有安装孔，两侧对称的开有两个尺寸相同的固定孔；所述安装孔用于安装所述测量组件，两个固定孔用于将固定板安装到泵头的间隙调节窗上。
3.如权利要求2所述的压管间隙测量装置，其特征在于，所述固定板上还设有限位环，所述限位环和所述安装孔同轴设置，以用于使所述测量组件在安装孔中沿直线伸缩。
4.如权利要求3所述的压管间隙测量装置，其特征在于，所述测量组件包括测量件，所述测量件可滑动的安装在所述安装孔中，所述测量件的一端伸入所述间隙调节窗，用于和压紧轮工作面接触，所述测量件上设有刻度，以用于显示压紧轮工作面到固定板之间的距离。
5.如权利要求4所述的压管间隙测量装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：殷效财，王黎光，马玉怀，芮阳，兰正东，魏瑶，陈元寿，田建兵，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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