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本发明公开了一种电感式压力传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。电感式压力传感器的结构包括用于产生感应电流的5*5线圈阵列、输出电信号的电路、电路和线圈间的绝缘层、线圈和永磁铁之间的支撑墙体以及PDMS薄膜和镶嵌于薄膜中的永磁铁。本发明电...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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