一种电感式压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种电感式压力传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。电感式压力传感器的结构包括用于产生感应电流的5*5线圈阵列、输出电信号的电路、电路和线圈间的绝缘层、线圈和永磁铁之间的支撑墙体以及PDMS薄膜和镶嵌于薄膜中的永磁铁。本发明专利技术电感式压力传感器利用电磁感应原理，对动态压力信号具有快速明显的电学响应特性，PDMS薄膜有良好的抗压缩变形性、优秀的热稳定性和粘结性，在受到压力时通过PDMS薄膜位置变化带动永磁铁位置发生变化，由于处于PDMS薄膜和线圈阵列之间的空腔间隙较大，使得传感器具有较宽的压力检测范围；同时，线圈阵列通过5*5阵列的方式排列，增大了输出电流，提高了灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器，特别涉及一种电感式压力传感器及其制备方法。

技术介绍

1、压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出电信号的器件或装置。电磁感应原理是指放在变化磁通量中的导体，会产生电动势，此电动势称为感应电动势或感生电动势，若将此导体闭合成一回路，则该电动势会驱使闭合回路的电子流动，形成感应电流。

2、电感式压力传感器是一种基于电磁感应，将待测量的压力变化转换为自身电感值变化的的传感器。当受到外部压力作用时，压力传感器的磁铁产生位移，穿过闭合电路的磁通量发生变化，从而产生感应电动势，形成感应电流，通过测量电流的变化可以准确地得到外部压力变化的信息。

3、目前，现有的电感式传感器大多数响应速度较慢，不适合快速动态响应的场合，而且存在分辨率较低，稳定性差等问题。为了解决上述问题，有必要研究一种同时兼具较高的灵敏度和较宽的检测范围，并可快速响应动态压力的电感式压力传感器，应用于各种需要快速进行压力检测的场合。

技术实现思路

1、本专利技术所要解决的问题是本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电感式压力传感器，其特征在于，包括由下至上依次设置的衬底(7)、线圈阵列(6)、绝缘层(5)、输出电路(4)、支撑墙体(3)、PDMS薄膜(1)；

2.根据权利要求1所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述衬底(7)为Si，所述线圈阵列(6)设置于衬底上方，所述绝缘层(5)用于隔绝所述线圈阵列(6)和输出电路(4)，所述线圈阵列(6)和输出电路(4)为Cu，所述绝缘层(5)为Al2O3。

3.根据权利要求2所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述线圈阵列(6)和输出电路(4)的厚度为分别200nm，所述绝缘层(5)的厚度为100nm，所述支撑墙体(3)的厚...

【技术特征摘要】

1.一种电感式压力传感器，其特征在于，包括由下至上依次设置的衬底(7)、线圈阵列(6)、绝缘层(5)、输出电路(4)、支撑墙体(3)、pdms薄膜(1)；

2.根据权利要求1所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述衬底(7)为si，所述线圈阵列(6)设置于衬底上方，所述绝缘层(5)用于隔绝所述线圈阵列(6)和输出电路(4)，所述线圈阵列(6)和输出电路(4)为cu，所述绝缘层(5)为al2o3。

3.根据权利要求2所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述线圈阵列(6)和输出电路(4)的厚度为分别200nm，所述绝缘层(5)的厚度为100nm，所述支撑墙体(3)的厚度为40μm，所述pdms薄膜(1)的厚度为450μm。

4.根据权利要求3所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述线圈阵列(6)以5*5阵列整齐排列，用于增大输出电流，每个线圈以等距螺旋线的方式旋转10圈。

5.根据权利要求4所述的电感式压力传感器，其特征在于，绝缘层(5)内连接线圈阵列(6)和输出电路(4)的连接孔包括若干...

【专利技术属性】
技术研发人员：章伟，熊贤辉，石云飞，毕亚丽，刘志远，赖国峰，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：