温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术涉及晶圆封装加工技术领域,具体公开了一种新型晶圆封装用夹持装置,包括吸盘机构,所述吸盘机构包括吸盘座一,所述吸盘座一的上方通过卡接的方式固定有非接触顶盘,所述非接触顶盘的上方开设有十字安装槽,所述十字安装槽的内部安装有辅助机构,所述辅...该专利属于晶通(高邮)集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶通(高邮)集成电路有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术涉及晶圆封装加工技术领域,具体公开了一种新型晶圆封装用夹持装置,包括吸盘机构,所述吸盘机构包括吸盘座一,所述吸盘座一的上方通过卡接的方式固定有非接触顶盘,所述非接触顶盘的上方开设有十字安装槽,所述十字安装槽的内部安装有辅助机构,所述辅...