温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供的一种清洗液输出装置，晶圆清洗技术领域，包括：支撑臂和喷头，支撑臂内部适于设置输液管；喷头与支撑臂连接；喷头适于与输液管连通；喷头在刷子两侧分别至少具有一个。本方案通过在刷子的两侧均设置有喷头，使得清洗液可以同时分布在刷子的两侧，...
该专利属于北京晶亦精微科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京晶亦精微科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。