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本发明公开了一种化学源输送管路结构及PEALD设备，化学源输送管路结构，包括载气输送管路、载气进入管路以及反应源输出管路，载气输送管路与反应腔可通断地的连接，载气进入管路与载气输送管路和反应源入口可通断地的连接；反应源输出管路与反应源出口和...
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