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一种石墨低压相变制备金刚石的方法技术
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文档序号:43941465
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本发明公开了一种石墨低压相变制备金刚石的方法,该方法利用全自动压片机将单晶鳞片石墨粉压制成石墨片后置于HFCVD系统中,在石墨片表面沉积Ta原子,而后将负载Ta原子的石墨片置于MPCVD系统中进行氢等离子体处理,在低压下将石墨转变为金刚石;...
该专利属于浙江工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江工业大学授权不得商用。
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