下载等离子体射流离子源、制备方法及应用的技术资料

文档序号:43940892

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本发明提供了一种等离子体射流离子源、制备方法及应用,该等离子体射流离子源,包括:安装体,安装体为一体成型,安装体具有金属容纳腔、正极安装位、第一注入孔和载气流道;金属容纳腔为环状结构,位于安装体内形成负极安装位,与正极安装位相对设置,且二者...
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