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本发明公开了一种集成接口电路的微流量传感器及其无光刻制造方法，该制造方法包括：根据包含接口电路的初始传感器芯片中设置的分层结构，确定微流量传感器的微带线组件所处金属层结构；利用湿法刻蚀将微带线组件所处金属层周边的金属牺牲层完全刻蚀干净；采用...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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